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| 研究生： |
沈柏丞 Shen, Po-Cheng |
|---|---|
| 論文名稱： |
基於時空深度學習發展半導體缺陷辨識系統 Spatio-Temporal Deep Learning for Defect Pattern Recognition Systems in Semiconductor Manufacturing |
| 指導教授： |
王宏鍇
Wang, Hung-Kai |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 製造資訊與系統研究所 Institute of Manufacturing Information and Systems |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 97 |
| 相關次數： | 點閱：84 下載：0 |
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2026-12-31公開