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研究生: 呂銘皓
Lu, Ming-Hao
論文名稱: 使用氮化矽/氧化矽/氮氧化矽為鈍化層之高功率氮化鋁鎵/氮化鎵異質接面金屬-絕緣體-半導體-高電子遷移率電晶體之關鍵製程研發與可靠度分析
Critical Process Development and Reliability Analysis in AlGaN/GaN Metal-Insulator-Semiconductor High Electron Mobility Transistor with SiN/SiO/SiON Passivation Layer
指導教授: 高國興
Kao, Kuo-Hsing
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 奈米積體電路工程碩士博士學位學程
MS Degree/Ph.D. Program on Nano-Integrated-Circuit Engineering
論文出版年: 2020
畢業學年度: 108
語文別: 英文
論文頁數: 115
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    校外:2026-03-30公開
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