研究生: |
梁家瑜 Liang, Chia-Yu |
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論文名稱: |
共濺鍍法合成高熵高介電常數氮摻雜 (Al,Ta,Zr,Hf,Ti)OX 介電層應用於 ZnSnO 薄膜電晶體以及光感測器 Cosputtering Synthesis of High-entropy-high-k N-doped (Al,Ta,Zr,Hf,Ti)OX Dielectrics Applied to ZnSnO-based Thin Film Transistors and Photosensors |
指導教授: |
張高碩
Chang, Kao-Shou |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學及工程學系 Department of Materials Science and Engineering |
論文出版年: | 2024 |
畢業學年度: | 112 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 109 |
相關次數: | 點閱:30 下載:0 |
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