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| 研究生： |
許晟瀚 HSU, CHENG HAN |
|---|---|
| 論文名稱： |
氧流量與退火溫度對釩摻雜氧化鋅薄膜壓電壓力感測器性能影響之研究 Study on the Effect of Oxygen Flow Rates and Annealing Temperatures on the Performance of Vanadium-Doped Zinc Oxide Thin Film-Based Piezoelectric Pressure Sensors |
| 指導教授： |
黃肇瑞
Huang, Jow-Lay 劉全璞 Liu, Chuan -Pu |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
智慧半導體及永續製造學院 - 半導體封測學位學程 Program on Semiconductor Packaging and Testing |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 162 |
| 相關次數： | 點閱：22 下載：0 |
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校內：2027-08-31公開校外：2027-08-31公開