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| 研究生： |
洪嘉濃 Hung, Chia-Nung |
|---|---|
| 論文名稱： |
原子層蝕刻和高壓退火對氧化鉿鋯電容器與氧化鉿鋯鰭式電晶體之電特性研究 Investigation of Atomic Layer Etching and High Pressure Annealing on Electrical Characteristics of HfZrO2 MOSCAP & HfZrO2 FinFET |
| 指導教授： |
李文熙
Lee, Wen-Hsi |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 73 |
| 相關次數： | 點閱：65 下載：0 |
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校內：2028-08-24公開校外：2028-08-24公開