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| 研究生： |
江嘉寶 Chiang, Chia-Pao |
|---|---|
| 論文名稱： |
射頻磁控濺鍍法於藍寶石上異質磊晶銥薄膜之研究 Study of the Heteroepitaxial Growth of Iridium (Ir) Films on Sapphire (Al2O3) by Radio-Frequency Magnetron Sputtering |
| 指導教授： |
曾永華
Tzeng, Yon-hua |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 78 |
| 相關次數： | 點閱：40 下載：0 |
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校內：2029-07-30公開校外：2029-07-30公開