| 研究生: |
梁富翔 Liang, Fu-Xiang |
|---|---|
| 論文名稱: |
邊緣粗糙度對於先進技術節點下內連電阻及電容的影響 Impact of Line-Edge-Roughness on Interconnect RC for Advanced Technology Nodes |
| 指導教授: |
盧達生
Lu, Darsen |
| 共同指導: |
Ivan Ciofi
Ivan Ciofi |
| 學位類別: |
碩士 Master |
| 系所名稱: |
電機資訊學院 - 奈米積體電路工程碩士博士學位學程 MS Degree/Ph.D. Program on Nano-Integrated-Circuit Engineering |
| 論文出版年: | 2018 |
| 畢業學年度: | 107 |
| 語文別: | 英文 |
| 論文頁數: | 67 |
| 相關次數: | 點閱:127 下載:0 |
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