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研究生: 梁富翔
Liang, Fu-Xiang
論文名稱: 邊緣粗糙度對於先進技術節點下內連電阻及電容的影響
Impact of Line-Edge-Roughness on Interconnect RC for Advanced Technology Nodes
指導教授: 盧達生
Lu, Darsen
共同指導: Ivan Ciofi
Ivan Ciofi
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 奈米積體電路工程碩士博士學位學程
MS Degree/Ph.D. Program on Nano-Integrated-Circuit Engineering
論文出版年: 2018
畢業學年度: 107
語文別: 英文
論文頁數: 67
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