本研究嘗試利用實驗設計中之拉丁方格與田口式實驗設計進行氯化鐵瓶杯試驗與電聚膠凝法試驗，最後配合逆滲透法，對化學機械研磨（CMP）廢水進行回收處理，旨在探討個操作參數對廢水處理效果之影響，並初步估計處理成本，用以評估化學機械研磨廢水回收再利用技術之可行性，以作為日後實際應用及研發之參考。
研究顯示，利用氯化鐵混凝並添加A-101助凝劑處理CMP廢水已能有效去除濁度與DS等污染物，在考量成本與水質下，以瓶杯試驗試程中氯化鐵加藥量50 mg/L as Fe，pH調整至5，助凝劑添加量為1 mg/L為最佳試程。濁度去除率約98.9﹪，色度去除率約96.8﹪，DS去除率約89﹪，Si去除率約96.9﹪，而對於水中SiO2幾無去除率，去除率約2﹪。
利用氯化鐵混凝並添加A-101助凝劑處理CMP廢水，就分析項目而言，其水質已接近自來水水質標準。而其水質除SiO2略高於循環式冷卻補充用水水質標準，其他水質項目已符合循環式冷卻補充用水標準，若再經加氯、臭氧或UV消毒後，可再利用於景觀、灑水與廁所沖洗用水。
利用電聚膠凝法處理CMP廢水，操作條件在處理前不調整比導電度及pH值，設定操作模式為mode 5，操作電壓為120volt，停留時間為29.2秒，理論釋鐵量為34 mg/L，電聚處理後調整電聚液pH=5，添加A-101助凝劑1 mg/L，濁度去除率約99.3﹪，色度去除率約97.6﹪，DS去除率約92.7﹪，Si去除率約97.7﹪，而對於瓶杯試驗中無法去除的水中SiO2，電聚膠凝法去除率約39﹪。結果顯示電聚膠凝法較利用氯化鐵混凝沈澱有較高之去除率。
化學機械研磨廢水經電聚膠凝處理後，已能用於循環式冷卻用水。若再經加氯、臭氧或UV消毒後，可再利用於景觀、灑水與廁所沖洗用水。就所分析水質項目而言，電聚液水質已能符合自來水水質標準，得以代替自來水為水源，進一步回收再利用於廠內超純水製程。
滲透實驗在6 Kg/cm2 ~ 12 Kg/cm2之操作壓力範圍內時，各水質污染成份去除效果極為顯著，除了pH值外，經逆滲透法處理後，各水質分析項目均已符合自來水用水水質標準之規範，甚至可能已達超純水製程之中段水質。對於電聚膠凝法處理效果較不理想之水質項目，如SiO2、硫酸鹽等，逆滲透法的去除效率均高達90%以上；對DS及比導電度等，去除效率更高，幾乎都在98%以上。

Feasibility for treatment and reclamation of the Chemical Mechanical Polishing(CMP) wastewater by the Latin Square Design and Taguchi Method of experiment design were studied. The Jar tests of Ferric chloride and Dipolarization-induced Electro-coagulation process and reverse osmosis (RO) technology were used. In addition, in order to obtain useful engineering design, optimization of the process performance was also studied.
The results show that the CMP wastewater could be treated suitably by Ferric chloride and coagulant aids ,A-101 ,when the concentration of Ferric chloride was 50mg/L as Fe, the dosage of coagulant aids A-101 was 1 mg/L and the pH value of the wastewater was at 5. The removal efficiencies of turbidity, true color, Dissolved Solid, Si, and SiO2 were approximately 98.9﹪,96.8﹪,89﹪,96.9﹪and 2﹪.
The CMP wastewater, after treated by the Ferric chloride and coagulant aids, A-101 , can be reused in sprinkling, bathroom flushing and landscape utilization via further treatments of chlorization, ozonization or UV disinfection. Compared with the cooling water standards , the treated water could be used in cooling water except the concentration of SiO2,which is a little higher than the standard.
The efficiency and cost analysis data showed that the CMP wastewater could be treated suitably by dipolarization-induced electrocoagulation process at the operational voltage of 120 volt ,the current density mode of 5 and the retention time of 29.2 sec. and the pH value was justified to 5 after the dipolarization-induced electrocoagulation process. The removal efficiencies of turbidity, true color, Dissolved Solid, Si and SiO2 were approximately 99.3﹪,97.6﹪,92.7﹪,97.7﹪and 39﹪,respectively. And the results implied that the removal efficiencies of dipolarization-induced electrocoagulation process were better than the Jar Tests of Ferric chloride.
The CMP wastewater that was treated by dipolarization-induced electrocoagulation process can be reused in cooling water and sprinkling, bathroom flushing and landscape utilization via further treatments of chlorization, ozonization or UV disinfection. The qualities of treated water were close to the drinking water, so that it could be reused to the Deionized water treatment system. Nevertheless, in the RO process, the removal efficiencies for specific conductivity, Dissolved Solid, SO42-and SiO2 were greater than 98﹪.

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