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研究生: 高一方
Kao, In-Fan
論文名稱: 可撓式薄膜基板球柵陣列構裝填充膠對黏晶 製程之最佳化設計
Die Bond Process Optimal Design for Fillet Height Control at Film BGA
指導教授: 黃明哲
Huang, Ming-Jer
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 工程科學系碩士在職專班
Department of Engineering Science (on the job class)
論文出版年: 2002
畢業學年度: 90
語文別: 中文
論文頁數: 58
中文關鍵詞: 黏晶填充膠
外文關鍵詞: delam, Film BGA
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  • 黏晶製程是銜接IC上下游製程中的一個製程,它負責將晶體吸取到承載基板上,利用填充膠將其粘合在一起,故其品質將相當重要。
    近來在FILM-BGA陸續發現晶體破裂現象 我們發現在黏晶製程中,填充膠與Die 面若發生回吸或剝離時,因熱應力的分布不均勻,將間接導致晶體破裂發生的情況。
    本文即先從黏晶製程的機台機構上,設計黏晶製程,克服基板翹曲的現象,再使用工業界常使用的田口式品質設計方法,將填充膠的控制列為品質特性,然後最佳化參數設計。
    結果發現:若填充膠的出水(wetting)良好,不產生回吸或剝離的狀況,便可將晶體破裂的產生情形降至最低。我們使用最後選擇的最佳參數組合來做確認,晶體破裂的情況從2001年的2482ppm已逐月降至2002年的90ppm,由結果可知已大幅改善。所以從Die Bond製程上的改良和運用田口氏品質設計來最佳化參數,是確實達到其效果的。不僅可避免缺陷的發生,亦可在製程中省下可觀的成本。

    Die bond process was an important process connected with IC’s wafer and assembly manufacture.
    It taked charge to pick up dies to substrate from wafer and adhesion together by taking advantage of glue, so it’s quality was more important.
    Recently we found die crack situation at film BGA. We discovered it had die crack issue if had glue draw back, delam problem between die and glue surface at die bond process. Because thermal stress distribution not uniform, it would let die crack happen indirectly.
    First, design die bond process because Film BGA substrate must overcome warpage issue, next, use TAGU-CHI DOE method, fillet height control was quality characteristic and optimal parameter design.
    Result, discovered die crack situation would be improved if glue wetting was good and draw back, delam were not happen. Used optimal parameter to confirm result and discovered die crack situation decrease from 2482ppm to 90 ppm , it had improved. So die bond process improvement and TAGACHI method optimal parameter ensure to reach the golden goal. It was not only avoided defect happen and saved cost at the die bond process.

    摘要 I 英文摘要 II 誌 謝 III 目錄 IV 表目錄 VIII 圖目錄 IX 符號說明 XII 第一章 緒論 1 1.1研究背景 1 1.2 構裝的目的 2 1.3 構裝的技術層次區分 2 1.4 Film BGA製程簡介 3 1.5研究動機、目的 4 1.6 文獻回顧 5 1.7 研究方法 5 1.8 各章內容介紹 6 第二章 黏晶製程之介紹 8 2.1 前言 8 2.2 黏晶 理論及製程簡介 8 2.2.1 共晶黏結法 8 2.2.2 玻璃膠黏結法 9 2.2.3 高分子膠黏結法 10 2.2.4 銲接黏結法 10 2.3 黏晶製程簡介 10 2.4 黏晶重要參數介紹 11 2.5 黏晶製程的缺陷 11 2.6材料的介紹 12 2.7實驗機台的介紹 13 第三章分析方法 14 3.1 田口氏品質設計方法 14 3.2 前言 14 3.3田口方法的步驟 15 3.4實驗步驟 17 第四章實驗方法與注意事項 21 4.1規劃實驗 21 4.2 製程設計 22 4.2.1製程改良(一) 22 4.2.2製程改良(二) 22 4.2.3製程改良(三) 22 4.3田口氏最佳參數設計實驗 23 4.3.1 設定品質特性 23 4.3.2 設定控制因子 24 4.3.3干擾因子的排除 25 4.3.4 直交表的選定 25 4.3.5實驗結果: 26 4.3.6變異數分析(ANOVA) 26 4.3.7確認工作 27 第五章結果與討論 28 參考文獻 30 自述 58

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    下載圖示 校內:2007-06-28公開
    校外:2007-06-28公開
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