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| 研究生： |
康智嘉 Kang, Zhi-Jia |
|---|---|
| 論文名稱： |
在矽基板上利用射頻偏壓成核及微波電漿化學氣相沉積成長鑽石之研究 Radio Frequency Bias-Enhanced Nucleation and Growth of Diamond on Silicon Substrates by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition |
| 指導教授： |
曾永華
Tzeng, Yon-Hua |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
智慧半導體及永續製造學院 - 半導體製程學位學程 Program on Semiconductor Manufacturing Technology |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 88 |
| 相關次數： | 點閱：29 下載：0 |
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校內：2030-08-05公開校外：2030-08-05公開