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研究生：	曾信傑 Tseng, Hsin-Chieh
論文名稱：	觸控感測器電性良率之製程改善 Yield Rate Improvement for Touch Sensor Production
指導教授：	李輝煌 Lee, Huei-Huang
學位類別：	碩士 Master
系所名稱：	工學院 - 工程科學系碩士在職專班 Department of Engineering Science (on the job class)
論文出版年：	2013
畢業學年度：	101
語文別：	中文
論文頁數：	44
中文關鍵詞：	觸控感測器、觸控感測器製程、觸控感測器電性、品質良率
外文關鍵詞：	Touch sensor, Touch sensor process, Touch sensor production, Quality yield
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觸控感測器(Touch sensor)製作過程中，除了外觀需力求完美無暇外，最重要的就是電性功能，電性功能出現問題，勢必代表感測器失效，也不需要再進行後續模組組裝作業，電性良好與否形成一個重要課題。

本文透過8D方式對電性失效可能要因進行驗證，確認為真正要因後，再追蹤對策實施後的改善成效。由實驗結果可知， Touch sensor製作過程當中除需留意Insulation 與bridge間的對位精度、光罩共缺、異物產生、調整 ITO&metal layer 蝕刻速度，更需注意製程架構的正確性、適當性與可行性，避免ITO蝕刻液侵蝕metal layer(金屬層)，才能有效改善Touch sensor電性良率。

In the manufacturing of the Touch sensor, the electrical performance is the top priority. Once the electrical performance fails, the sensor won’t operate, not to mention the follow-up process of module assembly.

This study adopts an 8D method to examine the probable causes of electrical performance failure and identify the real cause. Then, the countermeasures which are carried out to improve the performance will also be carefully observed to find out the relevant effects. The results indicate that, in addition to the precise positioning between insulation and bridge, mask common defects, the developing of foreign objects, the etching speed of ITO and metal layer, attention should also be paid to the correctness, adequacy and practicability of the manufacturing frames. Moreover, preventing the ITO etching solution from corroding the metal layers can effectively improve the yield of the Touch sensor.

摘要…………………………………………………………………………………………………………………………I
Abstract………………………………………………………………………………………………………………II
誌謝…………………………………………………………………………………………………………………………III
目錄……………………………………………………………………………………………………………………………IV
表目錄………………………………………………………………………………………………………………………VII
圖目錄……………………………………………………………………………………………………………………VIII
第一章 緒論………………………………………………………………………………………………………………1
1-1研究動機與目的…………………………………………………………………………………………………1
1-2文獻回顧………………………………………………………………………………………………………………2
第二章 觸控式面板介紹…………………………………………………………………………………………5
2-1電容式觸控面板種類…………………………………………………………………………………………5
2-1-1表面電容式……………………………………………………………………………………………………5
2-1-2投射電容式………………………………………………………………………………………………………5
2-1-3 OGS(One Glass Solution)Touch On Lens (Cell Process)
觸控技術…………………………………………………………………………………………………………6
2-2 觸控面板原材材料簡介……………………………………………………………………………………8
2-2-1化學強化玻璃(Chemically strengthened glass)原理………8
2-2-2化學強化玻璃特性…………………………………………………………………………………………8
2-2-3化學強化玻璃應用…………………………………………………………………………………………9
第三章 觸控面板基本理論……………………………………………………………………………………10
3-1觸控面板基本理論……………………………………………………………………………………10
3-1-1ITO銦錫氧化物透明導電薄膜(Indium Tin Oxide Conductive Thin Film，ITO)基本原理介紹…………………………………………………………………………………10
3-1-2 黃光(PHOTO)製程基本原理介紹…………………………………………………………12
3-1-3 蝕刻製程基本原理介紹……………………………………………………………………………16
3-2投射電容式觸控面板(Touch Sensor)製程流程…………………………………17
3-2-1 Touch sensor製程組成架構舉例(OGS)………………………………………17
3-2-2 Touch sensor製程流程(1sheet-> divide into equal cuts)…17
3-3 Touch sensor 常見缺陷(defect)探討…………………………………………19
3-3-1 Particle defect(突起物)……………………………………………………………19
3-3-2 Scratch defect…………………………………………………………………………………19
3-3-3 Dirt defect…………………………………………………………………………………………19
3-3-4 ITO residue defect………………………………………………………………………20
3-3-5 Metal residue defect…………………………………………………………………20
3-3-6 光罩共缺(Mask Common Defect)………………………………………………20
3-3-7 Metal circuit 斷裂…………………………………………………………………………21
第四章 研究方法………………………………………………………………………………………………………22
4-1Disciplines ( Ford 8D ) ………………………………………………………………22
第五章 研究與改善過程…………………………………………………………………………………………25
5-1(D1) 主題選定及成立團隊……………………………………………………………………………25
5-1-1改善主題 : Touch sensor 電性測試良率改善專案……………………25
5-1-2活動小組由各部門主管與成員組成…………………………………………………………25
5-1-3以甘特圖列出活動實施項目與計畫排程…………………………………………………25
5.2 (D2) 現狀掌握及描述問題…………………………………………………………………………25
5-2-1 描述問題 ……………………………………………………………………………………………………25
5.3(D3) 執行暫時防堵措施及驗証……………………………………………………………………26
5.4(D4) 追求真因及驗証………………………………………………………………………………………30
5.4.1小組成員以腦力激盪的方式共同討論，將可能要因畫成特性要因圖…30
5.5(D5) 選定永久對策及實施………………………………………………………………………………31
5.6 (D6) 執行永久對策及效果確認……………………………………………………………………32
5.7(D7) 對策標準化預防再發………………………………………………………………………………36
5.7.1機台設備方面……………………………………………………………………………………………………36
5.7.2人員方面……………………………………………………………………………………………………………36
5.7.3製程方面……………………………………………………………………………………………………………37
5.8(D8) 恭賀團隊及選定下一主題………………………………………………………………………37
第六章 結論…………………………………………………………………………………………………………………38
Conclusion ……………………………………………………………………………………………………………39
參考文獻…………………………………………………………………………………………………………………………40
索引…………………………………………………………………………………………………………………………………42
觸控面板常用名詞…………………………………………………………………………………………………………43
                                    

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校內：2018-02-18公開
校外：不公開電子論文尚未授權公開，紙本請查館藏目錄

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