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| 研究生： |
吳泓衛 Wu, Hong-Wei |
|---|---|
| 論文名稱： |
氮化鋁摻雜鉿在壓電薄膜中的作用機制、特性分析以及高頻寬薄膜聲波諧振器設計與實驗分析 Mechanisms and Characteristics of Hafnium-Doped Aluminum Nitride in Piezoelectric Thin Films, and Design and Experimental Analysis of High-Bandwidth Thin Film Bulk Acoustic Resonators |
| 指導教授： |
朱聖緣
Chu, Sheng-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 奈米積體電路工程碩士博士學位學程 MS Degree/Ph.D. Program on Nano-Integrated-Circuit Engineering |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 115 |
| 相關次數： | 點閱：69 下載：0 |
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校內：2029-07-17公開校外：2029-07-17公開