企業微利時代來臨與瞬息萬變的經濟情勢，工程師如何正確且立即地掌握問題核心，並迅速地做出決策，並有效的解決問題進而改善品質的能力，提升競爭力與永續經營發展，其中的關鍵就在於「問題分析與解決」這項核心技能。

本研究針對半導體廠後段製程設備銅金屬濺鍍機因Particles Defect 所造成的產品報廢進行探討，研究方法以問題解決型QC Story的流程步驟為主軸，發展一個可以解決問題的方案流程，建立改善機制，以期能達到控制與改善那些關鍵性的失效因素，經由QC Story 改善步驟下，Cu Missing報廢率從平均每月報廢3.5片，降低為平均每月報廢0.3片，改善幅度為91.4%，不但降低了產品因Particles所造成的報廢，亦可以提升生產效率和產品良率，並且能夠持續增加公司的競爭優勢。

關鍵字：QC Story、QC七大手法、微粒、銅金屬濺鍍機

This is enterprise low-profit and economic rapidly changing year. For engineers : how to properly and immediately grasp the core of the problem, and make decisions quickly and effectively to solve the problem and the ability to solve the difficulty to enhance its competitiveness and sustainable development, the core competency of “Problem Analysis and Solving” is the key.

This research is focus on the semiconductor backend process: copper metal sputter machine due to particles defect causing product scrapped, The research method is base on problem solving of QC story flow as the main shaft, to develop a process to solve the issue, and establish improvement mechanism in order to control and improve the critical failure factors. Through QC Story improvement steps , the Cu Missing scrap rate reduced to average 0.3pcs monthly from average 3.5pcs monthly, this improvement was 91.4%.Not only the reduction of product scrap rate due to the particles, but also improve the production efficiency and product yield, and the ability to continue to increase the company's competitive advantage.

Key words ： QC Story、QC Seven Tools、Particles、Cu-Sputter

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