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| 研究生： |
陳致榮 Chen, Jhih-Rong |
|---|---|
| 論文名稱： |
以磁控濺鍍法沉積鎢酸鋅薄膜及其感測器之研究 Investigation of Zinc Tungstate Thin Film and Its Sensor Device Fabricated by RF Sputtering |
| 指導教授： |
張守進
Chang, Shoou-Jinn |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 83 |
| 相關次數： | 點閱：19 下載：0 |
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校內：2027-07-31公開校外：2027-07-31公開