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| 研究生： |
張媛淳 Chang, Yuan-Chun |
|---|---|
| 論文名稱： |
以第一原理計算探討TiTaMoW與其氮化物作為銅製程之擴散阻擋層可行性 Investigation on the Possibilities of TiTaMoW and (TiTaMoW)_0.5N_0.5 as the Diffusion Barrier in Copper Metallization via First principles Calculation |
| 指導教授： |
許文東
Hsu, Wen-Dung |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學及工程學系 Department of Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 118 |
| 相關次數： | 點閱：32 下載：0 |
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校內：2028-07-21公開校外：2028-07-21公開