台灣是世界中缺水的國家之一，源於不平均的降雨期、群山陡峭河流短促，造成了多數的雨水無法真正留下並利用。現如今國內科學園區中的TFT-LCD面板產業廠房設址多處，該產業製程需要在無塵室中進行，其所需的水、電資源需求量大，現今除少數幾座近幾年新建成廠房外，多數廠房在2000年代時已建成或是規劃完成。當時進駐的生產製程機型對於節水的議題尚未有成熟的配套措施，以至於大多數機台所使用的水資源，使用過一次即排放至廠務進行廢水處理。

逐漸成長的需求及製程工藝不斷進長，水資源需求上漲。由長遠來看，一昧的限制水資源使用量，會使高階的產品研發停滯、整體產能也會受限，因此對於水資源的使用需開源節流。本研究目的在於將TFT-LCD面板產業之中，透過臭氧抑菌的特性，進行節省水資源。使無塵室中水洗段製程用水方式，由一次性用水改為導流到儲水槽，將使用過的水，進行抑菌過濾至能夠再利用狀態。使其能夠數次回流至製程中再利用（回水），透過回水的機制進而降低整體製程水資源的使用量。

本研究主要先探討現有做法無法大規模平展原因，以層級分析法決策出在無塵室的使用情境中，進行臭氧的可變要素進行優先度排序。得出以無聲放電產生法及鼓泡溶解法為最優解，依此結果進行實機組裝，並將其於無塵室內儲水槽進行安裝改造，相較於原本的生產製程，水資源使用量由原本用量降為5/9倍的用量。經過上述驗證後將其抑菌機件模組化，進而平展至該部門13條水洗段產線。大規模平展後初略估算可使該部門一年節約少使用5.7萬噸水資源（44%使用量）、135萬元的用水費及汙水處理費（費用降低44%）。因延長保養週期等同於減少整年的保養次數，進而增加該部門一整年所生產投片量增加1%。最後期望本研究能夠有效解決至各種相關製程機型的問題，不只能提高該產業競爭力，更能緩解國內水資源困乏的問題。

Numerous TFT-LCD panel manufacturing plants are located within domestic science parks. The production processes in this industry must be carried out in cleanroom environments, which require large amounts of water and electricity. Most of these plants were established in the 2000s. At that time, the production equipment lacked mature water-saving measures, and water was discharged to the facility’s wastewater treatment system after a single use.

Simply imposing restrictions on water usage would hinder the development of advanced products and limit overall production capacity. This study aims to utilize the antibacterial properties of ozone to transform the cleanroom rinsing process from a single-use water system into one where used water is redirected to a storage tank, disinfected and filtered, making it reusable. This treated water can then be recirculated multiple times back into the production process (reclaimed water), thereby reducing the overall water consumption.

Using the Analytic Hierarchy Process (AHP), this study prioritizes the ozone-related variables under cleanroom conditions. The results identified silent discharge ozone generation and bubble dissolution as the optimal methods. Based on these findings, equipment was assembled and installed in the cleanroom’s water storage tanks. Compared to the original production process, water usage was reduced to 5/9 of the original volume. It is expected that this research can effectively address water usage challenges across various production equipment and help alleviate the country’s water scarcity issues.

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