| 研究生: |
廖瑋琦 Liao, Wei-Chi |
|---|---|
| 論文名稱: |
碳化矽基板磊晶製程之熱場分析 Thermal Analysis of Silicon Carbide Substrate in Epitaxy Processing |
| 指導教授: |
林育芸
Lin, Yu-Yun |
| 學位類別: |
碩士 Master |
| 系所名稱: |
工學院 - 土木工程學系 Department of Civil Engineering |
| 論文出版年: | 2025 |
| 畢業學年度: | 113 |
| 語文別: | 中文 |
| 論文頁數: | 86 |
| 相關次數: | 點閱:16 下載:0 |
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校內:2030-07-28公開