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研究生: 廖瑋琦
Liao, Wei-Chi
論文名稱: 碳化矽基板磊晶製程之熱場分析
Thermal Analysis of Silicon Carbide Substrate in Epitaxy Processing
指導教授: 林育芸
Lin, Yu-Yun
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 土木工程學系
Department of Civil Engineering
論文出版年: 2025
畢業學年度: 113
語文別: 中文
論文頁數: 86
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  • 無法下載圖示 校內:2030-07-28公開
    校外:2030-07-28公開
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