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| 研究生： |
楊朝崴 Yang, Chao-Wei |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用機器學習和光學反射訊號取得高深寬比光阻的關鍵尺寸 Retrieval of critical dimension of photoresist with high aspect ratio using machine learning and optical reflection |
| 指導教授： |
張晉愷
Chang, Chin-Kai |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 88 |
| 相關次數： | 點閱：49 下載：0 |
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校內：2026-08-31公開校外：2026-08-31公開