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| 研究生： |
錢禹森 Chien, Yu-Sen |
|---|---|
| 論文名稱： |
915MHz微波電漿輔助化學氣相沉積法於P型矽基板上進行偏壓增強成核時偏壓及偏壓時間對鑽石成核的影響 Effects of Bias Voltage and Biasing Time on Bias-Enhanced Nucleation (BEN) of Diamond on P-Type Silicon Substrate by 915MHz Microwave Plasma Assisted CVD Technique |
| 指導教授： |
曾永華
Tzeng, Yon-Hua |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 66 |
| 相關次數： | 點閱：24 下載：0 |
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校內：2028-08-01公開校外：2028-08-01公開