本研究提出修正式TRIZ矛盾矩陣使用方式，藉由選定數個描述系統問題的TRIZ工程參數，將其進行排列組合後找出多組矛盾，可得到多個具有等級排序的TRIZ創新法則，以解決傳統矛盾矩陣法所遭遇的盲點。而在使用TRIZ創新法則思考問題解決方法時，工程師易受實務經驗影響的狀況，則藉由導入電腦輔助創新軟體(Goldfire)得到顯著突破；而在系統問題簡化與核心問題分析上將引入軟體根本原因分析(Root Cause Analysis)工具加以輔佐。本研究並結合上述兩個工具，設計出一完整的創新模式，以供工程師進行解決工程問題。
此外，本研究亦單獨使用軟體元件分析(Device Analysis)模型，進行問題系統各元件的功能分析，了解元件間的運作關係，並藉由使用軟體科學效應資料庫釐清系統問題的科學意義，而尋求解決方案。
最後，利用前述兩項方法針對大氣電漿蝕刻系統的問題進行分析與探討，結果顯示兩個主要工具皆能針對電漿問題提出有效的改良建議。

This study proposed an improvement method of TRIZ using contradiction matrix for innovation. By selected number of TRIZ engineering parameters to describe problem and many sets of contradictions were found after permutations and combinations. Then one can acquired the applicable TRIZ innovation rules by ranking order. Therefore, the difficulty in using of TRIZ contradiction matrix method can be solved. Engineers always be affected by practical experience in using TRIZ inventive principles for thinking the problem solution. A computer-aided innovation software (Goldfire) is used in this study for solving innovative problems. For simplifying and analyzing the core problem, one can use root cause analysis tools on the Goldfire software to solve it. This study combined above tools to design a complete set of innovative models for engineers to solve engineering innovation problems.
In addition, this study also used device analysis model on the Goldfire software to analyze every component in problematic systems for understanding the action relationship between components. Furthermore, one can use the scientific effect databases on the Goldfire software to clarify the scientific significance in problems for seeking innovative solutions.
Finally, one can use above methods to analyze and solve problems on atmospheric pressure plasma etching system. The results showed that those methods can give effectively suggestions for improvement atmospheric pressure plasma etching system problems.

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