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研究生: 温冠育
Wen, Guan-Yu
論文名稱: 基於二值光罩繞射效應之準分子雷射三維微加工技術
Three-Dimensional Excimer Laser Micromachining Technology Based on Binary Mask Diffraction Effects
指導教授: 李永春
Lee, Yung-Chun
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 機械工程學系
Department of Mechanical Engineering
論文出版年: 2026
畢業學年度: 114
語文別: 中文
論文頁數: 129
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