半導體製造產業是技術及資金密集的產業，不論新建一個廠或舊廠擴充產能都需投入相當多的資金，以目前最新技術的12吋晶圓廠其投資金額更高達30億美金，在充滿競爭環境中，如何降低成本及提高生產率是確保競爭優勢的方法之一。

　　在半導體產業中投資資金最主要為生產機台及生產環境的無塵室建構成本，因此如何在產能規劃基礎下將無塵室空間做最有效運用，將是提高公司競爭優勢的方法，故本研究以產能規劃為基礎嘗試以線性規劃方程式來建構機台佈置模式。本研究以台灣某晶圓代工公司無塵室生產機台佈置為個案分析，以公司中程產能規劃為基礎建立線性規劃數學模式，利用線性規劃軟體LINGO針對個案實例驗證，以找出既有空間中最佳機台佈置模式。

　　由個案分析中所獲得之最大產能及空間規劃都有不錯之結果，尤其是在產能方面利用機台生產比例可獲得較高產能，在空間規劃方面能快速進行機台佈置，且降低不必要空間的浪費，因此增加無塵室空間利用率進一步降低無塵室建構成本。

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