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| 研究生： |
李振寧 Lee, Chen-Ning |
|---|---|
| 論文名稱： |
以原子層沉積系統研製TixAl1-xO高介電係數之三元化合物薄膜並應用於氧化銦鎵鋅薄膜電晶體之閘極介電層 An Investigation of Atomic Layer Deposition-derived TixAl1-xO High-k Ternary Composite and Its Application in the Gate Dielectric of InGaZnO Thin Film Transistors |
| 指導教授： |
蘇炎坤
Su, Yan-Kuin |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 59 |
| 相關次數： | 點閱：47 下載：0 |
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校內：2028-04-19公開校外：2028-04-19公開