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| 研究生： |
石文翔 SHI, WEN-XIANG |
|---|---|
| 論文名稱： |
以磁控濺鍍法沉積氧化銦鎵錫薄膜及其紫外光光電元件之應用與研究 Investigation of Indium Gallium Tin Oxide Thin Films and Their UV Optoelectrical Applications Fabricated by RF Sputtering System |
| 指導教授： |
張守進
Chang, Shoou-Jinn |
| 共同指導教授: |
陳志方
Chen, Jone-Fang |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 75 |
| 相關次數： | 點閱：45 下載：0 |
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校內：2027-09-05公開校外：2027-09-05公開