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| 研究生： |
袁清均 Yuan, Ching-Chun |
|---|---|
| 論文名稱： |
於矽基板製作垂直光路徑耦合電磁波導之製程研究 Study on the fabrication process of vertically optical-path coupled SU-8 electromagnetic waveguides on silicon substrates |
| 指導教授： |
陳寬任
Chen, Kuan-Ren |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 物理學系 Department of Physics |
| 論文出版年： | 2026 |
| 畢業學年度： | 114 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 54 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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