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研究生: 林郁辰
Lin, Yu-Chen
論文名稱: 應用具多變量時間序列演算法之智慧型預測保養系統於晶圓測試製程
Applying Intelligent Predictive Maintenance System with Multivariate Time Series Algorithm in Wafer Probe Process
指導教授: 鄭芳田
Cheng, Fan-Tien
共同指導教授: 謝昱銘
Hsieh, Yu-Ming
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 製造資訊與系統研究所
Institute of Manufacturing Information and Systems
論文出版年: 2022
畢業學年度: 110
語文別: 中文
論文頁數: 46
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