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| 研究生： |
吳柏翰 Wu, Bo-Han |
|---|---|
| 論文名稱： |
於(100)銥薄膜上以射頻偏壓輔助成核成長(100)取向鑽石及其自支撐薄膜之形成研究 RF Bias-Enhanced Nucleation of (100)-Oriented Diamond on (100) Iridium and Formation of Freestanding Thin Films |
| 指導教授： |
曾永華
Tzeng, Yonhua 黃英原 Huang, Ying-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
智慧半導體及永續製造學院 - 半導體製程學位學程 Program on Semiconductor Manufacturing Technology |
| 論文出版年： | 2026 |
| 畢業學年度： | 114 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 106 |
| 相關次數： | 點閱：23 下載：0 |
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2031-07-23公開