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| 研究生： |
張芳榕 Zhang, Fang-Rong |
|---|---|
| 論文名稱： |
藍寶石基板之氮化鋁鈧(002)製程優化應用於鐵電記憶體 Process Optimization for Ferroelectric AlScN (002) on Sapphire Substrate for Memory Application |
| 指導教授： |
王永和
Wang, Yeong-Her |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 86 |
| 相關次數： | 點閱：90 下載：0 |
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