簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
王羿凱 Wang, Yi-Kai |
|---|---|
| 論文名稱： |
ScAlN/ZnO/DLC/Si多層結構應用於表面聲波元件之壓電及溫度飄移係數研究 Study on piezoelectricity and TCF of ScAlN/ZnO/DLC/Si multilayer structure applied for surface acoustic wave device |
| 指導教授： |
黃肇瑞
Huang, Jow-Lay |
| 共同指導教授: |
齊孝定
Qi, Xiao-ding |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學及工程學系 Department of Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 96 |
| 相關次數： | 點閱：52 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
校內：2026-08-06公開校外：2026-08-06公開