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| 研究生： |
莊幃傑 Chuang, Wei-Chieh |
|---|---|
| 論文名稱： |
矽晶圓介電薄膜奈秒雷射脫膜製程預測與優化之模擬–實驗混合學習框架 Hybrid Simulation–Experiment Learning Framework for Process Prediction and Optimization of Nanosecond Laser Stripping of Dielectric Thin Films on Silicon Wafers |
| 指導教授： |
羅裕龍
Lo, Yu-Lung |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2026 |
| 畢業學年度： | 114 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 119 |
| 相關次數： | 點閱：23 下載：0 |
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2031-07-28公開