| 研究生: |
陳冠宏 CHEN, KUAN-HUNG |
|---|---|
| 論文名稱: |
單能同步輻射光引起吸附在Si(111)-7×7表面之氧分子的光解作用研究 Photolysis Study of O2 Adsorbed on Si(111)-7×7 Using Monochromatic Synchrotron Radiation |
| 指導教授: |
溫清榕
Wen, Ching-Rong |
| 學位類別: |
碩士 Master |
| 系所名稱: |
理學院 - 物理學系 Department of Physics |
| 論文出版年: | 2005 |
| 畢業學年度: | 93 |
| 語文別: | 中文 |
| 論文頁數: | 57 |
| 中文關鍵詞: | 光電子能譜技術 、光解作用 |
| 外文關鍵詞: | photoemission spectroscopy, O2, photolysis, XPS |
| 相關次數: | 點閱:39 下載:1 |
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我們的實驗主要是使用單能(monochromatic)(570eV)的同步輻射光來激發三種不同注入量(3.0×10*14、2.4×10*14與1.9×10*14分子/平方公分)的O2氣體分子吸附的Si(111)-7×7表面,表面的溫度為30K,並以光電子譜實驗技術來量測O(1s)蕊層光電子譜圖。我們發現O(1s)之蕊層光電子譜會隨著照光時間(光子曝露量)而改變。亦即570eV的光子會引起表面吸附物產生光解作用(Photolysis)。我們以O原子與Si原子間之電子親和力的關係來解釋光解前後O(1s)蕊層光電子譜各個譜峰的束縛能的改變。我們認為最初吸附於表面的O-Si結構主要為ins-paul結構。由於光子的激發,表面ins-paul結構中, O(paul-vac)與O(paul-Si)之間的鍵結產生斷鍵。而解離後的O(paul-vac)與旁邊的Si原子結合形成ad結構。另外,我們發現 O2分子吸附在Si表面會自然解離,而此自然解離與光解作用俱有相同型式的鍵結截斷。我們認為我們得到的光解作用譜圖本身也包含了O2分子的自然解離。
[1]M. Quirk and J. Serda, Semiconductor Manufacturing Technology, 1st (2000).
[2]H. Hertz, Ann. Phys. 31, 983(1887).
[3]A. Einstein, Ann. Phys. 17, 132(1905).
[4]C. W. Berglund and W. E. Spicer, Phys. Rev. 136, A1030 & A1044 (1964).
[5]皮敦文,科儀新知第十六卷第二期,83.10,P.40。
[6]J.D. Jackson, Classical Electrodynamics, 3rd (1998).
[7]同步輻射光源簡介,行政院同步輻射研究中心,2000.8。
[8]劉遠中,物理雙月刊第二十巻第五期,1998.10,P.8。
[9]同步輻射簡介,行政院同步輻射研究中心,1992.8。
[10]賀璟鴻,物理雙月刊第十五巻第六期,1993,P.774。
[11]郭錦城,科儀新知第十六巻第二期,1994.10,P.31。
[12]臺灣財團法人國家同步輻射研究中心網站﹕ http://140.110.203.42/bldoc/04BSNM.htm
[13]光束線安全審查報告,行政院同步輻射研究中心,1998.12。
[14]T. Hoshino and Y. Nishioka, Phys. Rev. B 61,4705 (2000).
[15]F. Matsui, H.W. Yeom, K. Amemiya, K. Tono, and T. Ohta,Phys. Rev. Lett.85, 630 (2000).
[16]L. Pauling, Nature, 203, 182 (1964).
[17]K. Sakamoto, S. Doi, Y. Ushimi, K.Ohno, H.W. Yeom, T. Ohta, S. Suto, and W.Uchida, Phys. Rev. B 60, R8465 (1999).
[18]B. Lamontagne, D. Roy, R. Sporken, and R. Caudano,Prog. Surf.Sci. 50, 315 (1995).