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研究生: 陳冠宏
CHEN, KUAN-HUNG
論文名稱: 單能同步輻射光引起吸附在Si(111)-7×7表面之氧分子的光解作用研究
Photolysis Study of O2 Adsorbed on Si(111)-7×7 Using Monochromatic Synchrotron Radiation
指導教授: 溫清榕
Wen, Ching-Rong
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 理學院 - 物理學系
Department of Physics
論文出版年: 2005
畢業學年度: 93
語文別: 中文
論文頁數: 57
中文關鍵詞: 光電子能譜技術光解作用
外文關鍵詞: photoemission spectroscopy, O2, photolysis, XPS
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  •   我們的實驗主要是使用單能(monochromatic)(570eV)的同步輻射光來激發三種不同注入量(3.0×10*14、2.4×10*14與1.9×10*14分子/平方公分)的O2氣體分子吸附的Si(111)-7×7表面,表面的溫度為30K,並以光電子譜實驗技術來量測O(1s)蕊層光電子譜圖。我們發現O(1s)之蕊層光電子譜會隨著照光時間(光子曝露量)而改變。亦即570eV的光子會引起表面吸附物產生光解作用(Photolysis)。我們以O原子與Si原子間之電子親和力的關係來解釋光解前後O(1s)蕊層光電子譜各個譜峰的束縛能的改變。我們認為最初吸附於表面的O-Si結構主要為ins-paul結構。由於光子的激發,表面ins-paul結構中, O(paul-vac)與O(paul-Si)之間的鍵結產生斷鍵。而解離後的O(paul-vac)與旁邊的Si原子結合形成ad結構。另外,我們發現 O2分子吸附在Si表面會自然解離,而此自然解離與光解作用俱有相同型式的鍵結截斷。我們認為我們得到的光解作用譜圖本身也包含了O2分子的自然解離。

    摘 要.........................................................................I 誌 謝........................................................................II 目 錄.......................................................................III 表目錄........................................................................V 圖目錄.......................................................................VI 第一章 前言...................................................................1 第二章 光電子譜技術之基本原理.................................................2 2-1 簡介...............................................................2 2-2 光電子譜技術(PES)..................................................2 2-3探測光源及應用......................................................4 2-3-1 XPS (X-ray Photoemission Spectropy)...........................4 2-3-2 UPS (Ultraviolet photoemission spectroscopy)..................5 第三章 同步輻射光源..........................................................13 3-1 簡介..............................................................13 3-2 同步輻射設備......................................................13 3-3 同步輻射光的特性..................................................15 3-4 同步輻射的研究與應用..............................................17 第四章 實驗系統介紹..........................................................23 4-1 實驗系統..........................................................23 4-2 實驗過程..........................................................28 第五章 實驗結果與分析........................................................38 5-1 光電子能譜分析(PES)...............................................39 5-2 O2分子吸附於Si(111)-7×7表面之蕊層光電子能譜.......................39 5-2-1蕊層光電子能譜...............................................39 5-2-2 O2分子吸附在Si上的光解離過程................................42 5-2-3 O2分子吸附在Si表面上隨時間自然解離的研究....................44 第六章 總結..................................................................54 參考文獻.....................................................................56

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    下載圖示 校內:立即公開
    校外:2005-07-29公開
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