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| 研究生： |
黃煥智 Huang, Huan-Chih |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用超短脈衝雷射不同掃描策略於提升4H-SiC晶圓微加工去除效率之研究 Enhanced Removal Efficiency on 4H-SiC Wafers Micro-Machining with Different Scanning Strategies Using Ultrashort Pulse Laser |
| 指導教授： |
洪嘉宏
Hung, Chia-Hung |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 93 |
| 相關次數： | 點閱：17 下載：0 |
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校內：2029-08-08公開校外：2029-08-08公開