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| 研究生： |
郭哲豪 Kuo, Che-Hao |
|---|---|
| 論文名稱： |
電漿輔助沉積製程中磷化氫(PH3)流量影響非晶矽薄膜電晶體特性之研究 Effect of the Phosphine (PH3) Flow Rate on the PECVD Prepared Amorphous Silicon Thin Film Transistor Performances |
| 指導教授： |
方炎坤
Fang, Yean-Kuen |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 微電子工程研究所 Institute of Microelectronics |
| 論文出版年： | 2011 |
| 畢業學年度： | 99 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 102 |
| 相關次數： | 點閱：38 下載：0 |
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校內：2042-01-01公開校外：不公開