準分子雷射微細加工是屬於LIGA-like製程中的一種，它是利用脈衝式的深紫外光（Deep UV Light），配合光罩使用，以打斷分子鍵，瞬間熱吸收與熱膨脹的方式加工，去除工件表面某一特定區域內之表層材料，而達到微細加工的目的。

　　本論文研究之目的在於利用準分子雷射微細加工的技巧製作出一微小的錐形PZT感測元件，其頂尖端的直徑約250μm。再以所製作的PZT感測元件設計出類似商用NBS錐形感測器但更小尺寸的微小聲波感測器。NBS錐形感測器是一個點接觸的精密量測儀器，於表面垂直位移有良好的量測結果。它有著微小的接觸面積、高的靈敏度和高達1 MHz的穩定頻率響應，是1980年代所研發出的一標準化聲波感測器。

　　本論文所設計的自製感測器將會以標準的商用NBS感測器進行靈敏度校正，和以FEMLAB有限元素分析軟體模擬PZT感測元件於量測上的特性。最後，將會以此微小壓電式錐形感測器應用於雷射超音波的暫態波傳量測上，例如雷利表面波（Rayleigh Surface Wave）和藍姆波（Lamb Waves）。並藉由分析所得到的暫態波傳訊號來得到材料的表面參數等。以證明所自製的感測器於波傳量測上的可行性。

　The　objective　of　this　paper　is　to　investigate　thefeasibility　of　using　excimer　laser　micro-machining　technique　to　fabricate　small　conical　PZT　elements　with　an　aperture　size　around　250　or　less.　The　machined　PZT　element　is　then　used　to　construct　a　miniature　acoustic　emission　transducer　which　is　similar　to　the　conventional　NBS　conical　transducer　but　much　smaller　in　size.　The　NBS　conical transducer is　a　point　contact　transducer　for　measuring　normal　surface　displacement　with　high　fidelity.　It　has　small contact　area,　high　sensitivity,　and　a　flat　response　in　frequency　up　to　1　MHz　and　has　been　a　stander　acoustic　emission　transducer　since　1980’s.　In this　work,　the　transducer　is　further　miniaturized　with　the　help　of　excimer　laser　micromachining　method.
　
　The　constructed　conical　transducer　will　be calibrated by　a　stander　commercial　NBS　conical transducer　and　will　be　theoretically　analyzed　by　a　finite　element　software,　FEMLAB.　The　goal　is　to　simulate　the　characteristics　of　the　conical　PZT　element　and　measurement　sensitivity.　Furthermore,　we　will　apply　the　miniature　conical　piezoelectric　transducers　to　laser　ultrasonic　measurement　of　transient　elastic　waves　such　as　Rayleigh　surface　waves　and　Lamb　waves.　Finally,　by　analyzsis　of　these transient　elastic　waves　to　inversely　deduce　important　characteristics　such　material　properties　and the　natures　of　the　acoustic　emission　sources.

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