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| 研究生： |
張志豪 Chang, Chih-Hao |
|---|---|
| 論文名稱： |
以田口方法改善乾蝕刻深度之均勻度 Improving Dry Etching Depth Uniformity by Taguchi Method. |
| 指導教授： |
周榮華
Chou, Jung-Hua |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 工程科學系 Department of Engineering Science |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 62 |
| 相關次數： | 點閱：13 下載：0 |
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校內：2030-08-09公開校外：2030-08-09公開